特點 Feature：

v 採用一套多臂氣動機械手傳動，定位精准，效率高。

v 人機介面，PLC程式控制，觸摸屏操作。

v 水系型清洗劑、DI水、IPA清洗乾燥。

v 間接式導熱油加熱方式，全自動IPA檢測、滅火裝置。

v 機架及全封閉外罩HEPA高效空氣過滤器，防止二次污染。

v 採用多種清洗頻率清洗：40KHz 、68KHz 、80KHz 、120KHz。

v Integrated multiple robot arm provides precise and quick positioning

v Ergonomia designed interface,PLC control,toouch screen operation.

v Use detergent,DI water ,IPA cleaning and drying

v Indirect oil heating ,fully automatic IPA inspection,CO2 fire-extinguishing device

v Machine frame and fully enclosed window,HEPA high-efficiency filtering machine that prevents second-time pollution.

v Different cleaning frequencies:40KHz 、68KHz 、80KHz 、120KHz。